マイクロ波プラズマの技術
- 編者: 電気学会マイクロ波プラズマ調査専門委員会
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- 書籍
- 出版社:オーム社
- 発売日: 2003年9月
- 価格(税込):5,292円
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この商品の説明
著者/アーティスト
目次
1章 プラズマ生成入門;2章 マイクロ波帯のプラズマの発展と特色;3章 マイクロ波帯のプラズマ生成の考え方;4章 プラズマ生成のモデリングとシミュレーション;5章 マイクロ波帯プラズマの実際と応用;6章 プラズマ生成のためのマイクロ波技術
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:257p
- 大きさ:21cm(A5)
- 出版社:オーム社
- ISBN-10:4274197107
- ISBN-13:9784274197109
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