MEMSデバイス徹底入門
- 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・セン
- 著者： 三田吉郎
- 書籍
- 出版社：日刊工業新聞社
- 発売日： 2018年8月
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- 価格（税込）：2,420円
- Vポイント：11pt
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この商品の説明
著者/アーティスト
著者: 三田吉郎
目次
第1章 MEMSを“つかう”(電子情報機器の用途―どこでもMEMSの時代;電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路;百聞は一見に如かず1―秋葉原で買ったMEMS大集合 ほか);第2章 MEMSを“わかる”(百聞は一見に如かず2―ばね+マス=MEMS構造を理解する;MEMSが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い;重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理 ほか);第3章 MEMSを“つくる”(百聞は一見に如かず4―「実験用MEMS」で見るMEMS構造と製法;フォトリソグラフィ大研究―MEMSは「積んで、リソして、削って」作る;パターンを転写してMEMSを形作る―Deep RIE ほか)
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:１８８ｐ
- 大きさ:２１ｃｍ（Ａ５）
- 出版社:日刊工業新聞社
- ISBN-10:4526078719
- ISBN-13:9784526078712
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