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この商品の説明
目次
第1章 マスクレス露光と電子ビーム描画・転写(マスクレス露光(描画);各種電子ビーム描画・転写);第2章 並列電子ビーム描画の課題(電子ビーム制御;電子ビームの集束と電子レンズ ほか);第3章 並列電子ビーム描画装置用電子源(研究されてきた各種電子源;ナノクリスタルシリコン(nc‐Si)電子源);第4章 超並列電子ビーム描画(MPEBW)(システム構成;電子源アレイ ほか);第5章 応用と今後の課題(デバイス大量生産への応用;マルチビーム技術の直接描画への応用 ほか)
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:228p
- 大きさ:21cm(A5)
- 出版社:東北大学出版会
- ISBN-10:486163296X
- ISBN-13:9784861632969
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