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この商品の説明
著者/アーティスト
著者: 上西勝三
目次
１章 集積回路の発展；２章 集積回路の基礎；３章 設計および材料の準備と工程；４章 酸化膜と不純物拡散；５章 金属膜と絶縁膜の成膜；６章 ホトリソとエッチング；７章 クリーン化と洗浄；８章 組立・信頼性と検査；９章 集積回路の今後
商品仕様
- アイテム名:書籍
- ページ数:２４４ｐ
- 大きさ:２１ｃｍ（Ａ５）
- 出版社:日本理工出版会
- ISBN-10:4890192352
- ISBN-13:9784890192359
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